Печь для быстрого отжига оснащена усовершенствованной микрокомпьютерной системой управления и ПИД-регулятором температуры с обратной связью, что позволяет добиться высокой точности и однородности температуры, а также может быть оснащена вакуумной камерой или многоканальным газом в соответствии с требованиями технологического процесса пользователя.
Печь быстрого отжига использует галогенную инфракрасную лампу в качестве источника тепла для быстрого нагрева пластин или материалов до 300 градусов -1200 за счет более высокой скорости нагрева, тем самым устраняя некоторые дефекты пластин или материалов и улучшая эксплуатационные характеристики продукции.
Печь быстрого отжига (оборудование для термообработки чипов) широко используется в производстве пластин ИС, светодиодных пластин, МЭМС, полупроводниковых соединений, силовых приборов и других изделий из чипов, а также для быстрого легирования омических контактов, отжига с ионной имплантацией, роста оксидов, снятия напряжений при уплотнении, уплотнения и других процессов. Быстрая термообработка используется для улучшения кристаллической структуры и фотоэлектрических свойств, с высоким техническим индексом, сложным процессом и сильной специфичностью.
Замена оборудования печи быстрого отжига
1. Замена нагревательной лампы: нагревательная лампа истекла или не горит, ее необходимо заменить. Срок службы нагревательной лампы составляет 3000 часов, а при высоких температурах срок ее службы сокращается.
2. Замена масла вакуумного насоса: во время использования, пожалуйста, проверяйте вакуумный масляный манометр раз в квартал. Когда масляный манометр показывает, что уровень масла меньше 1/3, пожалуйста, добавьте масло вакуумного насоса до более чем половины масляного манометра.
3, замена термопары: когда температура ненормальная или повреждена, термопару необходимо заменить. Нормальный срок службы термопары составляет 3 месяца, и срок ее службы сокращается под воздействием факторов окружающей среды.
4. Замените уплотнительное кольцо: Когда поверхность уплотнительного кольца явно повреждена или не может быть герметизирована, уплотнительное кольцо необходимо заменить. На его срок службы влияют внешние силы и температурные факторы.