I. Обзор продукта
Эта криогенная зондовая станция (опционально: высокая температура, низкая температура, вакуум, магнитное поле) представляет собой высокоточную многофункциональную экспериментальную платформу, предназначенную для тестирования электрических и магнитных свойств полупроводниковых материалов, микро-наноустройств, магнитных материалов, спинтронных устройств и смежных технических областей.
II.Основные характеристики
1. Высокоточная экспериментальная платформа: зондовая станция оснащена зондовым рычагом с высокоточным перемещением, который позволяет точно управлять и испытывать крошечные образцы.
2. Многофункциональная конфигурация: в соответствии с потребностями пользователя можно выбрать высокотемпературную, низкотемпературную, вакуумную, магнитно-полевую и другие конфигурации для удовлетворения потребностей различных сложных экспериментальных сред.
3. Высокостабильное магнитное поле: благодаря тщательно спроектированной системе магнитного поля в сочетании с высокоточным биполярным источником постоянного тока обеспечивается высокая стабильность магнитного поля.
4. Конструкция вытеснительного столика: вытеснительный столик оснащен магнитно-жидкостным уплотнением для достижения двумерного перемещения и вращения 360-градусов столика образца в горизонтальном направлении, а эксплуатация является гибкой и удобной.
5. Микроскопическое наблюдение: оснащенный высокоточным электронным микроскопом, он позволяет пользователям с удобством наблюдать и обрабатывать мельчайшие образцы в деталях.
III.Области применения
Данная зондовая станция широко используется в областях полупроводниковой промышленности, микроэлектромеханических систем, сверхпроводимости, электроники, ферроэлектроники, физики, материаловедения и биомедицины, включая, помимо прочего:
Тест магнитных характеристик
Тест производительности микроволн
Тест производительности постоянного тока и радиочастот
Тест производительности МЭМС
Тест на сверхпроводимость
Фотоэлектрическое тестирование наносхем, квантовых точек и проводов
Испытание чипа в условиях высокой и низкой температуры в вакууме
Тест материала
Тест Холла
Испытание производительности электромагнитного транспорта и т.д.
Ⅳ. Дополнительные аксессуары
Для удовлетворения потребностей различных пользователей мы предлагаем ряд дополнительных аксессуаров, в том числе:
Различные зонды постоянного тока, высокочастотные зонды, активные зонды
Проводное устройство формирования видеоизображения на ПЗС или КМОП-матрице
Система электромагнита устройства движения присоски/система сверхпроводящего магнита
Модернизация системы избыточного давления 1 МПа
Возможность модернизации для сверхвысоких температур
Возможность модернизации до сверхвысокого вакуума
Различные приспособления для зондов
Экранированный ящик, антивибрационный стол
Адаптер
Бесшумный вакуумный насос и т.д.
Параметры
|
Станция зондирования магнитного поля вакуума высокой и низкой температуры |
|||
|
Модель |
DXTPS1 |
DXTPS2 |
DXTPS3 |
|
Степень вакуума |
Максимальный вакуум 10-8Па |
||
|
Материал полости |
Немагнитная нержавеющая сталь или алюминиевый сплав |
||
|
Диапазон магнитного поля |
2000Gs @ 50мм |
5000Gs @ 50мм |
1T @ 50мм |
|
Направление магнитного поля |
горизонтальное (может быть спроектировано в соответствии с требованиями пользователя в вертикальном направлении) |
||
|
Источник питания |
Двухполярное питание ± 50А |
Биполярный источник питания ± 70А |
Двухполярный источник питания ± 90А |
|
Стабильность электропитания |
50 частей на миллион опционально 10 частей на миллион |
||
|
Режим охлаждения |
Охлаждение жидким гелием/жидким азотом/холодильник замкнутого цикла |
||
|
Диапазон температур |
5 К-325К опционально 500К |
||
|
Диапазон температур |
65 К-325К опционально 600К |
||
|
Разрешение контроля температуры |
0.001K регулятор температуры, связанный |
||
|
Температурная стабильность |
лучше, чем 0.1K в зависимости от регулятора температуры |
||
|
Датчик температуры |
кремниевый диод/PT 100 |
||
|
Датчики |
Один стол для образцов, один радиационный экран и один зондовый рычаг. |
||
|
Размер таблицы выборки (макс.) |
Φ50 мм, плоскостность Меньше или равна u7m |
||
|
Метод фиксации таблицы образцов |
Вакуумные прессы для силиконовой смазки/пружин |
||
|
Образец материала таблицы |
позолоченная бескислородная медь |
||
|
Путешествие с микроскопом |
Плоскость X, Y 2*2 дюйма, точность 1 мкм, ход оси Z больше или равен 50,8 мм |
||
|
Увеличение |
16 ~ 100X/20 ~ 4000X |
||
|
Размер смотрового окна вакуумной камеры |
1 дюйм |
1,5 дюйма |
2 дюйма |
|
Материалы для окон |
плавленый кварц (опционально K9, фторид кальция и т. д.) |
||
|
Количество зондовых рычагов |
2, 4, 6, 8 по желанию |
||
|
Ход зонда |
25 мм-25мм-12мм сменный |
||
|
Механическая точность |
10мкм/ 2мкм/ 1мкм/ 0,7мкм |
||
|
Форма интерфейса |
Обычное вакуумное соединение/три коаксиальных соединения/BNC/SMA и т.д. |
||
|
Диаметр зонда |
0.51мм |
||
|
Диаметр кончика иглы |
10мкм/ 5мкм/ 1мкм опционально |
||
|
Материал зонда |
Вольфрам/ГГБ |
||
|
Напряжение питания |
220 В переменного тока 50 Гц/60 Гц |
AC380V 50Гц/60Гц |
|
Подтверждение параметров перед покупкой:
Максимальное количество дюймов пластин или устройств, которые необходимо протестировать; необходимо ли тестировать фрагменты или отдельные чипы; наименьший размер отдельного чипа;
Насколько высоки требования к механической точности зондовой станции;
Размер электрода образца точечного измерения: площадка 100 мкм * 100 мкм или 60 мкм * 60 мкм, или мини-площадка, изготовленная FIB, или металлическая схема внутри ИС;
Для точечного измерения одновременно требуется максимум несколько датчиков;
Будет ли использоваться тест с зондовой картой;
Какое минимальное разрешение оптического микроскопа требуется;
С точки зрения микроскопии, необходимо ли добавлять поляризатор для обнаружения горячих точек жидкокристаллического ЖК-дисплея;
Достигает ли требование по току 100fa или ниже во время точечного теста зонда! Должно ли низкое требование по емкости быть 0,1pf; Есть ли требование по радиочастоте;
Каковы интерфейсы подключенных тестовых приборов;
Требуется ли нагрев или охлаждение при тестировании среды! Требуется ли закрытая полость;
Что насчет требований к утечке Чака? Нужно ли добавлять патрон с низким импедансом?
Требуется ли противошоковый стол;
Если добавить ударопрочный стол, есть ли сжатый воздух.
Еще фотографии криогенной зондовой станции




Доставка, отгрузка и обслуживание
Мы глубоко осознаем ключевую роль логистики в улучшении ощущений от покупок, поэтому мы стремимся разрабатывать эффективные, безопасные и надежные логистические и транспортные сети, адаптированные для вас. Мы установили долгосрочные и прочные партнерские отношения со многими известными поставщиками логистических услуг, чтобы гарантировать, что ваши продукты достигнут вашего пункта назначения своевременно и безопасно. Кроме того, мы предоставляем комплексную услугу отслеживания, чтобы вы могли понять статус транспортировки продукта. Мы отдаем приоритет клиентам, постоянно стремимся улучшать качество обслуживания и стремимся предоставить вам превосходный опыт покупок.



Часто задаваемые вопросы
Вопрос 1: Каковы характеристики высоко- и низкотемпературных вакуумных зондов для возможностей микронаблюдения и получения изображений?
Отвечать:
1. Высокое разрешение: Зондовый стол оснащен системой микроскопа высокого разрешения, которая может наблюдать внешний вид и структуру поверхности образца в реальном времени. Это имеет жизненно важное значение для характеристик внешнего вида, анализа дефектов и материального представления исследовательских устройств.
2. Возможности визуализации: Микроскопические системы обычно имеют различные режимы визуализации, такие как оптическая визуализация, электронная визуализация и т. д., чтобы соответствовать различным образцам и экспериментальным потребностям. Эти шаблоны визуализации могут предоставить богатую информацию об изображении и помочь исследователям понять природу образца.
Вопрос 2: Каковы функции программного обеспечения для сбора и анализа данных в высокотемпературных и низкотемпературных вакуумных зондах?
Отвечать:
1. Сбор данных в режиме реального времени: Зондовый стол должен быть оснащен передовым программным обеспечением для сбора и анализа данных, чтобы обеспечить сбор данных по электрике, микроанализу и анализу материалов в режиме реального времени.
2. Обработка и анализ: программное обеспечение для сбора данных обычно имеет несколько функций обработки и анализа данных, таких как обработка изображений, подгонка данных и трехмерная реконструкция.
Вопрос 3: Каковы характеристики высоко- и низкотемпературных вакуумных зондов с точки зрения возможностей микронаблюдения и визуализации?
Отвечать:
Высокое разрешение: Зондовый стол оснащен системой микроскопа высокого разрешения, которая может наблюдать внешний вид и структуру поверхности образца в режиме реального времени. Это имеет жизненно важное значение для характеристик внешнего вида, анализа дефектов и материального представления исследовательских устройств.
Возможности визуализации: Микроскопические системы обычно имеют различные режимы визуализации, такие как оптическая визуализация, электронная визуализация и т. д., для удовлетворения различных образцов и экспериментальных потребностей.












